Hơi nước cũng có thể làm giảm hiệu suất của cao su silicon. Bản chất của điều này là phản ứng phá vỡ của chuỗi chính. Phản ứng gãy xương thủy phân trở nên rõ ràng hơn do sự gia tăng nhiệt độ và sự hiện diện của thuốc thử ion, và độ tinh khiết của chất độn và lượng chất xúc tác cũng có tác động đáng kể đến nó. Để tăng cường khả năng chống hơi nước của cao su silicon, các phương pháp như chất làm đầy kỵ nước và tăng mật độ liên kết ngang có thể được áp dụng. Tuy nhiên, việc sử dụng cao su silicon dưới mức áp suất cao- trên 2MPa nên tránh càng nhiều càng tốt.
Cao su silicon cũng có khả năng hấp thụ nước tương đối cao. Với sự gia tăng độ ẩm tương đối trong không khí, hàm lượng nước trong cao su thô silicon cho thấy xu hướng tăng tuyến tính (Hình 6.1). Khi có quá nhiều nước, độ ẩm được hấp phụ bởi các phân tử cao su silicon sẽ kết tủa, và cao su silicon sẽ thay đổi từ trong suốt sang mờ đục. Độ ẩm trong cao su hỗn hợp cũng có thể có tác dụng phụ đối với chất lượng của các sản phẩm đùn, chẳng hạn như gây ra sủi bọt bề mặt, v.v.